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内容简介
本书分三大部分。第一部分介绍压阻型压力传感器的原理、弹性力学应力计算及芯片版图设计,并简要的讨论了晶体的能带结构及物理性质。第二部分以生产实践为主,介绍从硅片制备、半导体工艺、微机械加工到芯片封接与引线。第三部分介绍压力传感器的技术特性、选用及各种热漂移补偿技术、信号调理电路,又以足够的篇幅介绍微型单片机原理及压力传感器在实际领域中的应用和其他种类的传感器。 本书适用于从事压力传感器研究和生产的工程技术人员阅读,也可供大专院校师生参考。2100433B
一般的压力传感器,压电式的贵些.应变片式的价格便宜.分用多大量程的,大量程的贵,几公斤,几十公斤的价格在百元左右.
可借用法兰阀门安装子目
拉压力传感器的类型很多,以下是常见的几种类型:1、S式拉压力传感器;2、Z柱式拉压力传感器;3、L型高精度拉压力传感器;4、U型拉压力传感器;5、ZT柱式拉压力传感器;6、ZX型轴销式拉压力传感器;7...
压力传感器
3、压力传感器 控制系统中典型的压力传感器包括机油压力传感器、进气压力传感器、燃 油压力传感器、 大气压力传感器, 以及某些情况下 OEM安装的压力传感器。 天然 发动机通常还安装有多个压力传感器。 康明斯发动机上使用的压力传感器有 2 种:一种是 电容式压力传感器 ;另外一种是 压电晶体式传感器 。2种传感器均为 3线式,2根电源线向传感器提供 5V的工作电压, 1根信号线向E CU提供压力信 号电压。燃油压力传感器接线图和装配图如图4所示。 电容式压力传感器 通过内部的一个电容来感应压力的变化,当压力变化时,压力差使电容的 2个极板之间的距离发生变化,从而输出一个信号电压。 压电晶体式传感器 通过内部一个压电晶体来感应压力的变化,当压力变化时,作用在压电晶 体上的压差使电晶体输出一个信号电压。 根据压力传感器测量压力时参考压力的不同,压力传感器又可以分为相对 压力传感器和绝对压力传感器
本书分三大部分。第一部分介绍压阻型压力传感器的原理、弹性力学应力计算及芯片版图设计,并简要的讨论了晶体的能带结构及物理性质。第二部分以生产实践为主,介绍从硅片制备、半导体工艺、微机械加工到芯片封接与引线。第三部分介绍压力传感器的技术特性、选用及各种热漂移补偿技术、信号调理电路,又以足够的篇幅介绍微型单片机原理及压力传感器在实际领域中的应用和其他种类的传感器。
本书适用于从事压力传感器研究和生产的工程技术人员阅读,也可供大专院校师生参考。
第一章 晶全及其能带结构
第一节 空间点陈和晶体结构
第二节 晶体的能带结构
第三节 晶体的物理常数及其坐标变换
参考文献
第二章 压力传感器的基本原理
第一节 单晶硅的压阻效应
第二节 扩散硅的压阻效应
第三节 多晶硅的压阻效应
附录 任意晶向压阻系数的计算
参考文献
第三章 压力传感器中承压弹性膜的应力计算
第一节 弹性力学基础
第二节 承压弹性薄膜的应力分析
第三节 压力传感器弹性膜二维有限元法的应力计算
第四节 压力传感器三维有限无法应力计算简介
参考文献
第四章 压力传感器芯片版图设计
第一节 合理利用压阻系数
第二节 力敏电阻条的设计
第三节 二极管与三极管的设计
第四节 失效与可靠性问题
参考文献
第五章 压力传感器的衬底制备
第一节 硅单晶片抛光的基本原理
第二节 衬底片的清洗
第三节 外延工艺原理
第四节 硅—硅键合工艺原理
参考文献
第六章 压力传感器的管芯制备
第一节 氧化膜的制备
第二节 扩散工艺原理
第三节 光刻工艺原理
参考文献
第七章 硅压力传感器的微机械加工
第八章 压力传感器的封装
第九章 压力传感器的引线
第十章 压力传感器的技术性能与选用
第十一章 压力传感器的热漂移及其补偿技术
第十二章 压力伟感器的信号调理
第十三章 压力付感器的智能化技术
第十四章 其他种类压力传感器
第十五章 压力传感器的应用
附录
出版社: 冶金工业出版社; 第1版
平装ISBN: 7502424008
条形码: 9787502424008
ASIN: B0011A7R5E