1.预处理----复床 ----混床---抛光树脂　2.预处理----反渗透---混床---抛光树脂　3.预处理----反渗透----EDI膜块----抛光树脂

中国国家实验室分析用水标准（GB6682-92）《分析实验室用水规格和实验方法》：　指标名称 一级水 二级水 三级水　1级水>10MΩ；2级水>1MΩ；3级水>0.2MΩ　PH值范围（25℃） - - - - 5.0-7.5　比电阻MΩ.cm@25℃> 10 1 0.2　电导率（25℃）us/cm≤ 0.1 1 5　可氧化物[以O计]mg/L -- 0.08 0.40　吸光度（254nm,1cm光程）≤ 0.001 0.01 --　二氧化硅（mg/L） 0.02 0.05 --　蒸发残渣（mg/L） -- 1.0 2.0

电阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm极限值。超纯水,是一般工艺很难达到的程度，采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理四大步骤，多级过滤、高性能离子交换单元、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法，电阻率方可达18.25MΩ*cm超纯水是美国科技界为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水，这种水中除了水分子(H20)外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二恶英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，一般不可直接饮用，对身体有害，会析出人体中很多离子。

新兴的光电材料生产、加工、清洗；LCD液晶显示屏、PDP等离子显示屏、高品质灯管显像管、微电子工业、FPC/PCB线路板、电路板、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，对水质的要求也越高，这也对超纯水处理工艺及产品的简易性、自动化程度、生产的连续性、可持续性等提出了更加严格的要求。

纯度极高的水。集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。超纯水是指下列杂质含量极低的水：①无机电离杂质,如 Ca、Mg、Na、K、Fe、Fe、Mn、Al、HCO婣、CO婣、SO嬄、Cl、NO娱、NO婣、SiO婣、PO等；②有机物,如烷基苯磺酸、油、有机铁、有机铝以及其他碳氢化合物等；③颗粒,如尘埃、氧化铁、铝、胶体硅等；④微生物,如细菌、浮游生物和藻类等;⑤溶解气体, 如N2、O2、CO2、H2S等。超纯水中电离杂质的含量用水的电阻率数值来衡量。理论上,纯水中只有H离子和OH离子参加导电。在25℃时超纯水的电阻率为 18.3(兆欧·厘米)，一般约为15～18（兆欧·厘米）。　超纯水中有机物含量由测定有机物碳含量而定，电子工业超纯水中规定含量为50～200微克/升,并要求直径大于1微米的颗粒性物质每1毫升内含量为1～2个，微生物每1毫升为0～10个。现代采用预处理、电渗析、紫外线杀菌、反渗透、离子交换、超滤和各种膜过滤技术等，使超纯水的电阻率在25℃时达到18(兆欧·厘米)。　依各种原水水质和用户要求的不同，超纯水的制备工艺大体可分为预 超纯水

超纯水　处理、脱盐和精处理三步。　预处理 包括砂滤、多介质过滤、软化、加氯、调节pH、活性碳过滤、脱气等。过滤可除去 1～20微米大小的颗粒，软化和调节pH可防止反渗透膜结垢，加氯是杀菌。活性碳过滤是除去有机物和自由氯，脱气是清除溶于水中的CO2等。　脱盐 包括电渗析、反渗透、离子交换。电渗析的原理是在外加直流电场作用下利用阳离子和阴离子交换膜对离子选择性透过，脱盐率可达95%以上。反渗透是渗透现象的逆过程,在浓溶液上加压力,使溶剂从浓溶液一侧通过半透膜向稀溶液一侧反向渗透，脱盐可达98%，并能除去99%的细菌颗粒和溶解在水中的有机物。离子交换的原理是当水通过阳离子交换树脂时，水中的阳离子被阳离子交换树脂吸附，树脂上可交换的阳离子如H离子被置换到水中，并和水中的阴离子结合成相应的无机酸，如 超纯水

超纯水　这种含有无机酸的水，当下一步通过阴离子交换树脂层时，水中的阴离子被阴离子交换树脂吸附。树脂上可交换的阴离子如OH离子被置换到水中,并与水中的H离子结合成水，即 超纯水

超纯水　精处理 包括紫外线杀菌、终端膜过滤和超滤。紫外线杀菌是因生物体的核酸吸收紫外线光的能量而改变核酸自身结构,破坏核酸功能而使细菌死亡。杀菌最强的光谱波长为2600埃。各种膜过滤能除掉直径大于 0.2微米的颗粒，但对于清除有机物则不如反渗透和超滤有效。超滤是把各种选择性的分子分离。在超滤过程中，水在压力下流过一个卷式或中空纤维膜棒。膜孔径在10～200埃范围内,薄膜厚度为0.1～0.5微米,附在一个中孔的纤维棒内壁上，超滤能除去细菌和0.05微米的粒子。

☆电解电容器生产铝箔及工作件的清洗　☆电子管生产、电子管阴极涂敷碳酸盐配液　☆显像管和阴极射线管生产、配料用纯水　☆ 黑白显像管荧光屏生产、玻壳清洗、沉淀、湿润、洗膜、管颈清洗用纯水　☆液晶显示器的生产、屏面需用纯水清洗和用纯水配液　☆晶体管生产中主要用于清洗硅片，另有少量用于药液配制　☆ 集成电路生产中高纯水清洗硅片　☆半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路　☆LCD液晶显示屏、PDP等离子显示屏　☆高品质显像管、萤光粉生产　☆半导体材料、晶元材料生产、加工、清洗　☆超纯材料和超纯化学试剂、超纯化工材料　☆实验室和中试车间　☆汽车、家电表面抛光处理　☆光电产品、其他高科技精微产品　1.预处理----复床 ----混床---抛光树脂　2.预处理----反渗透---混床---抛光树脂　3.预处理----反渗透----CEDI膜块----抛光树脂

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