多元素同时测定检出限低:可以达到0.1-10ppb，甚至更低分析的浓度动态线性范围宽，可达5-6个数量级化学干扰少，准确高， RSD≤2%，分析速度快，分析成本低

射频发生器技术指标:

1. 电路类型:电感反馈式自激振荡电路，同轴电缆输出，匹配调谐，功率反馈闭环自动控制。

2.

5. 输出功率稳定性:<0.3%

6. 电磁场泄漏辐射强度:距机箱30cm处电场强度E:<2V/m

高频箱

本装置采用电感反馈自激式振荡电路，同轴电缆输出，匹配调谐，采用功率反馈进行闭环自动控制(获得国家发明专利)，

使等离子体火焰极为稳定，该发生器可使用工业氩气工作哦，不但点燃ICP火焰容易，同时还节省采用高纯氩气的昂贵费用。

匹配箱

由真空陶瓷可调电容及空气可调电容等组成的性能优良的匹配箱，使之达到最佳的匹配状态，在负载线圈上获得最大的有效输出功率。

定向耦合器

功率控制是采用从定向耦合器取出功率信号经检波放大后，控制振荡电子管的阳极电压，达到功率输出稳定的目的。

进样装置技术指标:

输出工作线圈内径25mm，3匝

矩管:三同心型，外径20mm的石英矩管

同轴型喷雾器外径6mm

双筒形雾室外径34mm

氩气流量计规格和载气压力表规格:

①. 等离子气流量计(100-1000)L/h (1.6-16L/min)

②. 辅助气流量计(10-100)L/h (0.16-1.66L/min)

③. 载气流量计(10-100)L/h (0.16-1.66L/min)

④. 载气稳压阀(0-0.4MPa)

⑤. 冷却水:水温:15-25℃ 流量>5L/min 水压>0.1MPa 电阻率>1MΩ

分光器技术指标

1. 光路: Czerny-Turner

2. 焦距: 1000 mm

3. 光栅规格: 离子刻蚀全息光栅，刻线密度3600线/mm，刻线面积(80×110) mm

(可选用刻线密度2400线/mm，刻线面积:80×110mm

4. 线色散率倒数:0.26nm/mm

5.分辨率: ≤ 0.008nm

6. 扫描波长范围:

3600线/mm扫描波长范围:195-500 nm

2400线/mm扫描波长范围:195-800 nm

7. 步进电机驱动最小步距: 0.0006 nm

8. 出射、入射狭缝:20μm

9. 反射镜规格: (78×105×16)mm

10. 透镜φ30，1:1成像

11. 分光器恒温装置:32℃±1℃